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面形及表面检测及测量设备,微米光刻设备,光学检测设备,微纳检测设备,人工智能检测设备,应用于半导体及光电显示行业.高新技术企业,与高校合作,教授2名、博士2名,知识产权80余项.公司自主开发光学系统和算法底层,产品行业始创或替代卡脖子技术.

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广州微纳光刻材料科技有限公司创立于2020年，是广东省内唯一家专业开发90 nm-28 nm制程高端半导体芯片制造用193 nm光刻胶及相关材料的高科技公司，为中芯国际、广州粤芯公司等客户定制光刻胶。